風速控制：潔凈棚內的氣流是左右潔凈室性能的重要因素，一般潔凈室的氣流速度是選0.25~0.5m/s之間，此氣流速度屬微風區(qū)域，易受人、機器等的動作而干擾趨于混亂、雖提高風速可抑制此一擾亂之影響而保持潔凈度、但因風速的提高，將影響運轉成本的增加，所以應在滿足要求的潔凈度水準之時，能以最適當的風速供應，以達到適當的風速供應以達到經濟性效果。

另一方面要達到潔凈室潔凈度的穩(wěn)定效果，均一氣流的保持也是重要因素，均勻氣流若無法保持，表示風速有異，特別是在壁面，氣流會延著壁面發(fā)生渦流作用，此時要實現高潔凈度事實上很困難。

垂直層流式方向要保持均一氣流必須:(a)吹出面的風速不可有速度上的差異;(b)地板回風板吸入面之風速不可有速度上的差異。速度過低或過高(0.2m/s，0.7m/s)均有渦流之現象發(fā)生，而0.5m/s之速度，氣流則較均一，一般潔凈室，其風速均取在0.25~0.5m/s之間。

影響潔凈度因素：影響潔凈棚的氣流因素很多，如制程設備、人員、潔凈室組裝材料、照明器具等，同時對于生產設備上方氣流的分流點，亦應列入考慮因素。一般操作臺或生產設備等表面的氣流分流點，應設于潔凈室空間與隔墻板間距2/3之處，如此可使作業(yè)人員工作時，氣流可從制程區(qū)內部流向作業(yè)區(qū)，而將微塵帶走;若分流點配置在制程區(qū)前方，將成為不當的氣流分流，此時大部份的氣流將流至制程區(qū)之后，作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設備后面，工作臺因而將受到污染，良率也勢必降低。潔凈室內的工作桌等障礙物，在相接處均會有渦流現象發(fā)生，相對地在其附近之潔凈度將會較差，在工作桌面鉆上回風孔，將使渦流現象減少最低;組裝材料之選擇是否恰當、設備布局是否完善，亦為氣流是否成為渦流現象之重要因素。風機從FFU頂部將空氣吸入，經初效過濾器，高效過濾器過濾，過濾后的潔凈空氣在整個出風面0.45m/s±20%的風速勻速送出到潔凈棚內。形成均流層，使?jié)崈艨諝鈿饬鞒蚀怪眴蜗蛄?，從而保證了工作區(qū)內所要求的潔凈度。潔凈棚是能快速組建的簡易潔凈室,其具有安裝快速、施工周期短、價格低廉、移動方便等特點，把主要生產工序控制在較小的環(huán)境內也是潔凈室設計的最佳選擇。